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发表于 2021-5-2 10:20:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
www.PI-CHINA.CN德国公司
高精度
(1)ACS运动控制器
(2)六轴运动平台,早在1991年PI就引入市场,也称六足位移台(HXP(HexPort)),其H.811小型六轴参数:行程+-17mm,角度+-21度,负载<=5kg,重复精度+-0.06um,速度20mm/s
(3)X-Y运动平台应用于原子力显微镜(AFM)、扫描店子显微镜(SEM)等的位移、定位平台,做过尼康、奥林巴斯、莱卡DMI等的XY位移平台,双向重复精度+-0.3um等



算法QQ  3283892722
群智能算法链接http://halcom.cn/forum.php?mod=forumdisplay&fid=73
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