Halcom 发表于 2021-5-2 10:20:35

PI

www.PI-CHINA.CN德国公司
高精度
（1）ACS运动控制器
（2）六轴运动平台，早在1991年PI就引入市场，也称六足位移台(HXP(HexPort))，其H.811小型六轴参数：行程+-17mm，角度+-21度，负载<=5kg，重复精度+-0.06um，速度20mm/s
（3）X-Y运动平台应用于原子力显微镜（AFM）、扫描店子显微镜（SEM）等的位移、定位平台，做过尼康、奥林巴斯、莱卡DMI等的XY位移平台，双向重复精度+-0.3um等



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